射流式真空泵工作原理

射流式真空泵，又称为涡轮分子泵，是一种常用于产生高真空的装置。它是通过涡轮-扩散机构来实现真空抽排的。该泵采用高速旋转的涡轮和固定的扩散器之间的动力学耦合，以抽取气体。

射流式真空泵的工作原理如下：

1. 涡轮：真空泵内部设置有一个高速旋转的涡轮，涡轮叶片上呈螺旋状排列的均匀凹槽，称为叶栅。涡轮旋转时，叶栅与气体分子发生碰撞，将气体分子抛出并改变其运动方向。

2. 扩散器：涡轮的上方安装有一个环形的扩散器，其内壁光滑。扩散器的作用是将涡轮叶栅抛出的气体分子分散到所有方向，使气体分子运动更迅速、扩散性更强。

3. 函数室：在扩散器下方形成一个环形的函数室，也称为抽排室。涡轮叶栅抛出的气体分子经过扩散器的扩散后，首先进入函数室。

4. 抽排管：函数室底部有一个开口，称为抽排口。在抽排口处设置有一个排气口，与高真空系统相连。

5. 减压：当涡轮旋转后，气体分子进入函数室，由于函数室内气体分子的运动更加剧烈，分子之间的碰撞频率增大，气体分子的平均速度也随之增加。接着，气体分子通过抽排口排出系统，并与系统相连的排气口连通，真空泵将气体排出到外部环境。

总结：射流式真空泵工作原理主要是通过旋转的涡轮将气体分子抛出，并通过扩散器和抽排管将气体排出系统，从而实现对气体的抽取和排气，从而产生高真空。该泵具有结构简单、运行可靠、抽气速度高等优点，广泛应用于科研实验室、电子行业、激光设备、半导体工业等领域。